近日，中共中央政治局常委、國務院副總理韓正在湖北省武漢市調研指出，要加大新技術、新產品商業(yè)化應用力度，提升產業(yè)集成水平，集中力量攻克“卡脖子”技術，增強關鍵基礎材料自主保障能力。

在中國科學院“率先行動”計劃第一階段實施進展發(fā)布會上，中科院院長白春禮表示：面臨美國對中國高科技產業(yè)的打壓，我們希望在這方面能做一些工作。我們把美國“卡脖子”的清單變成我們科研任務清單進行布局，比如航空輪胎、軸承鋼、光刻機，還有一些關鍵的核心技術、關鍵原材料等，我們爭取將來在第二期，聚焦在國家最關注的重大的領域，集中我們全院的力量來做?！?/span>

方正證券指出，光刻機作為前道工藝七大設備之首（光刻機、刻蝕機鍍膜設備、量測設備、清洗機、離子注入機、其他設備），價值含量極大，在制造設備投資額中單項占比高達23%，技術要求極高，涉及精密光學、精密運動、高精度環(huán)境控制等多項先進技術。目前光刻機國產替代將迎來新的曙光，尤其是IC前道制造領域，將初步打破國外巨頭完全壟斷的局面，實現(xiàn)從0到1的突破。關注舉國之力助力國產替代的光刻產業(yè)鏈，一是光刻機核心組件；二是光刻配套設施：包括光刻膠，光刻氣體，光掩模版，光刻機缺陷檢測設備，涂膠顯影設備等。

相關上市公司中，賽微電子：公司生產的MEMS可應用于光刻機透鏡系統(tǒng)部件，產品服務于全球光刻機巨頭ASML。

晶方科技：ASML為公司參與并購的荷蘭Anteryon公司的最主要客戶之一。

奧普光電：長春光機所控股下的唯一上市平臺，90納米光刻機曝光系統(tǒng)是長春光機所聯(lián)合其他單位在國家專項資金的支持下開展的研發(fā)項目。

藍英裝備：公司控股子公司為荷蘭光刻機制造商ASML提供精密清洗解決方案。